Transistor production method

WO2020045078 Art A1 5. März 2020

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020045078
Aktenzeichen: EP19854324
Anmeldetag: 13. August 2019
Veröffentlichung: 5. März 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/336H01L21/28H01L29/417H01L29/786

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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