Aqueous dispersion for chemical mechanical polishing and chemical mechanical polishing method

WO2020045088 Art A1 5. März 2020

Anmelder: JSR CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020045088
Aktenzeichen: EP19854618
Anmeldetag: 13. August 2019
Veröffentlichung: 5. März 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304B24B37/00C01F7/02C09K3/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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