X-ray apparatus, method for adjusting x-ray apparatus, and method of manufacturing structure

WO2020045365 Art A1 5. März 2020

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020045365
Aktenzeichen: EP19854333
Anmeldetag: 26. August 2019
Veröffentlichung: 5. März 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G01N23/041

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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