Post cmp cleaning compositions for ceria particles
WO2020046539
Art A1
5. März 2020
Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2020046539
- Aktenzeichen
- EP19855451
- Anmeldetag
- 2. August 2019
- Veröffentlichung
- 5. März 2020
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C11D11/00C11D3/30C11D3/20C11D3/04C11D3/39C11D3/37C11D3/36C11D3/43
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ENTEGRIS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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