Membrane diffuser for a substrate container
WO2020046867
Art A1
5. März 2020
Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2020046867
- Aktenzeichen
- EP19854674
- Anmeldetag
- 27. August 2019
- Veröffentlichung
- 5. März 2020
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/673H01L21/677H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ENTEGRIS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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