Non-elastomer seals, vacuum pump systems with such seals and a method of manufacture of such seals

WO2020049296 Art A1 12. März 2020

Anmelder: EDWARDS LIMITED 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020049296
Aktenzeichen
EP19766316
Anmeldetag
4. September 2019
Veröffentlichung
12. März 2020
Rechtsraum
WO
IPC
F16J15/02F16J15/10B33Y10/00B33Y30/00B33Y80/00B22F3/105
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
EDWARDS LIMITED
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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