Method for screening receptor layer of surface stress sensor

WO2020050110 Art A1 12. März 2020

Anmelder: NATIONAL INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCE 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020050110
Aktenzeichen: EP19856801
Anmeldetag: 28. August 2019
Veröffentlichung: 12. März 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G01L1/26G01L1/22G01N5/02H01L29/84

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NATIONAL INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCE
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 National Institute for Materials Science

Japanisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Tsukuba, das auf Materialwissenschaft und Werkstoffforschung spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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