Evaluation method of carbon concentration in silicon sample, evaluation method of silicon wafer manufacturing process, manufacturing method of silicon wafers, and manufacturing process of silicon single crystal ingot

WO2020050146 Art A1 12. März 2020

Anmelder: SUMCO CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020050146
Aktenzeichen: EP19858378
Anmeldetag: 30. August 2019
Veröffentlichung: 12. März 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66C30B15/00C30B29/06

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: SUMCO CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

658 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von