Method for two-dimensionally measuring and actively controlling fine dust precursor concentration and temperature

WO2020050444 Art A1 12. März 2020

Anmelder: KOREA INSTITUTE OF INDUSTRIAL TECHNOLOGY 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020050444
Aktenzeichen
EP18932703
Anmeldetag
13. September 2018
Veröffentlichung
12. März 2020
Rechtsraum
WO
IPC
B01D53/56B01D53/78B01D53/79G01N15/02G01N33/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KOREA INSTITUTE OF INDUSTRIAL TECHNOLOGY
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Korea Institute of Industrial Technology

Das Korea Institute of Industrial Technology (KITECH) ist eine südkoreanische staatliche Forschungseinrichtung für angewandte Industrietechnik. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Fertigungs- und Drucktechnik sowie Metallurgie und Halbleitertechnik, ergänzt durch Verfahrenstechnik. Anmeldungen sind von 2002 bis in die Gegenwart belegt.

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