Modular recipe controlled calibration (mrcc) apparatus used to balance plasma in multiple station system

WO2020051045 Art A1 12. März 2020

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020051045
Aktenzeichen: EP19856861
Anmeldetag: 28. August 2019
Veröffentlichung: 12. März 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/32H03H7/40H01L21/67H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von