Verfahren zur Bestimmung von Sauerstoff oder Kohlenstoff in Halbleitermaterial

WO2020052838 Art A1 19. März 2020

Anmelder: SILTRONIC AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020052838
Aktenzeichen: EP19742748
Anmeldetag: 22. Juli 2019
Veröffentlichung: 19. März 2020
Rechtsraum: WO
IPC: C30B1/00G01N21/3563H01L21/66C30B11/00C30B15/10C30B35/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SILTRONIC AG
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Siltronic

Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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