Platen To Control Charge Accumulation

WO2020055376 Art A2 19. März 2020

Anmelder: VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020055376
Aktenzeichen
EP10861563
Anmeldetag
11. August 2010
Veröffentlichung
19. März 2020
Rechtsraum
WO
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc.

Varian Semiconductor Equipment Associates war ein US-amerikanischer Hersteller von Halbleiteranlagen, seit 2011 Teil von Applied Materials. Die Patente betreffen Ionenimplantation und Halbleiterfertigung.

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