Metrology for a body of a gas discharge stage

WO2020055540 Art A1 19. März 2020

Anmelder: CYMER, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020055540
Aktenzeichen: EP19859755
Anmeldetag: 15. August 2019
Veröffentlichung: 19. März 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G03F9/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CYMER, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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