Film stack simplification for high aspect ratio patterning and vertical scaling

WO2020055837 Art A1 19. März 2020

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020055837
Aktenzeichen: EP19860063
Anmeldetag: 10. September 2019
Veröffentlichung: 19. März 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01L27/11551H01L27/11524H01L21/768H01L21/02H01L21/311

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von