Reaction chamber, dry etching machine, and etching method
WO2020056890
Art A1
26. März 2020
Anmelder: HKC Corporation Limited 🇨🇳
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2020056890
- Aktenzeichen
- EP18934384
- Anmeldetag
- 13. November 2018
- Veröffentlichung
- 26. März 2020
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/67H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- HKC Corporation Limited
- Land
- 🇨🇳 China
🇨🇳
HKC
HKC ist ein chinesischer Hersteller von Flachbildschirmen und Display-Panels für Fernseher, Monitore und mobile Endgeräte.
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