Baugruppe eines Optischen Systems, insbesondere in einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage, sowie Verfahren zum Betreiben eines Solchen Optischen Systems

WO2020057873 Art A1 26. März 2020

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020057873
Aktenzeichen: EP19761765
Anmeldetag: 15. August 2019
Veröffentlichung: 26. März 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B7/18G02B26/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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