Verfahren zur Verarbeitung von Abbildungen von Halbleiterstrukturen, sowie zur Prozesscharakterisierung und Prozessoptimierung mittels Semantischer Datenkompression

WO2020058219 Art A1 26. März 2020

Anmelder: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWAND 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020058219
Aktenzeichen: EP19766055
Anmeldetag: 17. September 2019
Veröffentlichung: 26. März 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01L31/18G01N21/64G06T7/00H01L21/66G01N21/95

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWAND
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

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