Mn-ta-w-cu-o-based sputtering target, and production method therefor

WO2020059560 Art A1 26. März 2020

Anmelder: DEXERIALS CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020059560
Aktenzeichen
EP19863342
Anmeldetag
9. September 2019
Veröffentlichung
26. März 2020
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/34C04B35/495G11B7/243
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
DEXERIALS CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Dexerials

Japanischer Hersteller elektronischer Komponenten und optischer Materialien mit Sitz in Tokio, 2012 als Ausgründung aus Sony Chemical hervorgegangen.

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