Prolonged life laser chamber electrode and laser having same

WO2020060735 Art A1 26. März 2020

Anmelder: CYMER, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020060735
Aktenzeichen: EP19863774
Anmeldetag: 28. August 2019
Veröffentlichung: 26. März 2020
Rechtsraum: WO
IPC: C22C9/00H01M4/00H01S3/00H01S3/038H01S3/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CYMER, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von