Long-life high-power terminals for substrate support with embedded heating elements

WO2020061019 Art A1 26. März 2020

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020061019
Aktenzeichen: EP19863879
Anmeldetag: 17. September 2019
Veröffentlichung: 26. März 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/32H01L21/683C23C16/458C23C16/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von