Method and apparatus for determining the heating state of an optical element in a microlithographic optical system

WO2020064223 Art A1 2. April 2020

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020064223
Aktenzeichen: EP19762909
Anmeldetag: 20. August 2019
Veröffentlichung: 2. April 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01K11/00G02B7/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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