A level sensor and a lithographic apparatus incorporating a level sensor

WO2020064240 Art A1 2. April 2020

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V., ASML HOLDING N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020064240
Aktenzeichen: EP19759348
Anmeldetag: 26. August 2019
Veröffentlichung: 2. April 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G03F9/00G01B13/12G03F7/20G01B13/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML NETHERLANDS B.V.
ASML HOLDING N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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