Epitaxial wafer production method, silicon-based substrate for use in epitaxial growth, and epitaxial wafer
WO2020066544
Art A1
2. April 2020
Anmelder: SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2020066544
- Aktenzeichen
- EP19867627
- Anmeldetag
- 6. September 2019
- Veröffentlichung
- 2. April 2020
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/20C30B25/18C30B29/38H01L21/205
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Handotai
Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.
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Vertreten von
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