Epitaxial wafer production method, silicon-based substrate for use in epitaxial growth, and epitaxial wafer

WO2020066544 Art A1 2. April 2020

Anmelder: SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020066544
Aktenzeichen
EP19867627
Anmeldetag
6. September 2019
Veröffentlichung
2. April 2020
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/20C30B25/18C30B29/38H01L21/205
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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