Method for manufacturing wafer placement stand

WO2020066589 Art A1 2. April 2020

Anmelder: NGK INSULATORS, LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020066589
Aktenzeichen
EP19866111
Anmeldetag
10. September 2019
Veröffentlichung
2. April 2020
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/683B28B11/00C04B35/624C04B35/645
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NGK INSULATORS, LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 NGK Insulators

Japanisches Industrieunternehmen mit Sitz in Nagoya. NGK Insulators fertigt Keramikprodukte, darunter Isolatoren, Abgaskatalysatorträger, Sensoren und Energiespeichersysteme für Energieversorgung, Automobil und Industrie.

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