Polishing liquid composition for silicon oxide film

WO2020066786 Art A1 2. April 2020

Anmelder: KAO CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020066786
Aktenzeichen: EP19866727
Anmeldetag: 18. September 2019
Veröffentlichung: 2. April 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304B24B37/00C09K3/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KAO CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kao

Japanischer Konsumgüter und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio. Kao entwickelt Produkte und Technologien für Körperpflege, Kosmetik, Haushaltsreiniger sowie chemische Spezialstoffe.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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