Method for fast loading substrates in a flat panel tool

WO2020068193 Art A1 2. April 2020

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020068193
Aktenzeichen: EP19867057
Anmeldetag: 13. Juni 2019
Veröffentlichung: 2. April 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G02F1/13G03F7/00G03F7/20H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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