Portable vacuum pump assembly and mass spectrometer

WO2020070466 Art A1 9. April 2020

Anmelder: EDWARDS LIMITED 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020070466
Aktenzeichen: EP19766326
Anmeldetag: 5. September 2019
Veröffentlichung: 9. April 2020
Rechtsraum: WO
IPC: F04B37/14F04B35/06F04B49/06F04B49/10F04D19/04F04D25/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EDWARDS LIMITED
Land: 🇬🇧 Großbritannien

🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

612 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)

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