Methods, apparatus, and systems for manufacturing gan templates via remote epitaxy

WO2020072871 Art A1 9. April 2020

Anmelder: MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020072871
Aktenzeichen: EP19868999
Anmeldetag: 4. Oktober 2019
Veröffentlichung: 9. April 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02C01B32/182H01L21/00H01L29/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MASSACHUSETTS INSTITUTE OF TECHNOLOGY
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Massachusetts Institute of Technology

US-amerikanische Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, eine der weltweit führenden Forschungseinrichtungen. Aktiv in nahezu allen technischen und naturwissenschaftlichen Feldern, darunter Informatik, Ingenieurwesen, Materialwissenschaften und Biotechnologie.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von