Electron gun and electron microscope

WO2020076528 Art A1 16. April 2020

Anmelder: KLA CORPORATION, NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCE 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020076528
Aktenzeichen: EP19870165
Anmeldetag: 28. September 2019
Veröffentlichung: 16. April 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/073H01J37/04

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: KLA CORPORATION
NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCE
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.

3.785 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von