Method for moving a structure on a semiconductor article and inspection device for inspecting a semiconductor article

WO2020078985 Art A1 23. April 2020

Anmelder: CARL ZEISS SMT INC., SEMILAB GERMANY GMBH 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020078985
Aktenzeichen: EP19795109
Anmeldetag: 15. Oktober 2019
Veröffentlichung: 23. April 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01N23/225H01J37/08H01J37/20H01J37/28H01J37/317H01L21/67G03F1/72G03F1/74

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: CARL ZEISS SMT INC.
SEMILAB GERMANY GMBH
Land: 🇺🇸 USA

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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