Alignment system and position adjusting seal

WO2020080508 Art A1 23. April 2020

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION, RIKEN 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020080508
Aktenzeichen: EP19872390
Anmeldetag: 18. Oktober 2019
Veröffentlichung: 23. April 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/22H01J37/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
RIKEN
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

4.279 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 RIKEN

Japanische staatliche Forschungseinrichtung mit Sitz in Wako bei Tokio, aktiv in Physik, Chemie, Biologie und Ingenieurwissenschaften mit zahlreichen Forschungszentren.

1.684 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von