Defect-location determination using correction loop for pixel alignment

WO2020081476 Art A1 23. April 2020

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020081476
Aktenzeichen
EP19874564
Anmeldetag
15. Oktober 2019
Veröffentlichung
23. April 2020
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/66H01L21/67G06T7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KLA CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung

Vertreten von

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