Removable opaque coating for accurate optical topography measurements on top surfaces of transparent films
WO2020081882
Art A1
23. April 2020
Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2020081882
- Aktenzeichen
- EP19872883
- Anmeldetag
- 18. Oktober 2019
- Veröffentlichung
- 23. April 2020
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/66H01L21/02H01L21/311H01L21/78
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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