Method and apparatus for adaptive alignment

WO2020083612 Art A1 30. April 2020

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020083612
Aktenzeichen: EP19780223
Anmeldetag: 30. September 2019
Veröffentlichung: 30. April 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G06T7/33G06T7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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