Laser system, and electronic device manufacturing method

WO2020084685 Art A1 30. April 2020

Anmelder: GIGAPHOTON INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020084685
Aktenzeichen: EP18938027
Anmeldetag: 23. Oktober 2018
Veröffentlichung: 30. April 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/10H01S3/067H01S3/0941H01S3/225H01S5/40

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: GIGAPHOTON INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von