Method for producing ots device, and ots device

WO2020084703 Art A1 30. April 2020

Anmelder: ULVAC, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020084703
Aktenzeichen: EP18937534
Anmeldetag: 24. Oktober 2018
Veröffentlichung: 30. April 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3065H01L21/8239H01L27/105H01L45/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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