Fluid supply system, fluid control device, and semiconductor manufacturing device

WO2020085033 Art A1 30. April 2020

Anmelder: FUJIKIN INCORPORATED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020085033
Aktenzeichen: EP19876515
Anmeldetag: 3. Oktober 2019
Veröffentlichung: 30. April 2020
Rechtsraum: WO
IPC: F17D1/04F16K27/00F16L41/03

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIKIN INCORPORATED
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik

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