Transport device and transport method

WO2020085187 Art A1 30. April 2020

Anmelder: SCREEN HOLDINGS CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020085187
Aktenzeichen
EP19875155
Anmeldetag
17. Oktober 2019
Veröffentlichung
30. April 2020
Rechtsraum
WO
IPC
B65G47/28B65B35/18B65B35/26B65G47/86A61J3/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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