Infrared-laser beam-profile measurement method and measurement system

WO2020085224 Art A1 30. April 2020

Anmelder: NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCE 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020085224
Aktenzeichen: EP19876973
Anmeldetag: 18. Oktober 2019
Veröffentlichung: 30. April 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G01J1/02G01B11/08G01B11/24H01L27/144H01S3/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCE
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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