Method for forming molybdenum films on a substrate
WO2020086344
Art A1
30. April 2020
Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2020086344
- Aktenzeichen
- EP19876804
- Anmeldetag
- 16. Oktober 2019
- Veröffentlichung
- 30. April 2020
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/285H01L21/28H01L21/02H01L21/324
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ENTEGRIS, INC.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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