Scanning Differential Interference Contrast in an Imaging System Design

WO2020086920 Art A1 30. April 2020

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020086920
Aktenzeichen
EP19875869
Anmeldetag
25. Oktober 2019
Veröffentlichung
30. April 2020
Rechtsraum
WO
IPC
G01N21/95G01N21/47G01B9/02H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
KLA CORPORATION
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von

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