Method of determining a value of a parameter of interest of a patterning process, device manufacturing method

WO2020088906 Art A1 7. Mai 2020

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020088906
Aktenzeichen: EP19786569
Anmeldetag: 10. Oktober 2019
Veröffentlichung: 7. Mai 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01N21/47H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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