Komplementäre Musterstationsdesigns

WO2020092047 Art A1 7. Mai 2020

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020092047
Aktenzeichen
EP19879037
Anmeldetag
22. Oktober 2019
Veröffentlichung
7. Mai 2020
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/02H01L21/324C23C16/455H01L21/67H01J37/32H05H1/46
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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