Verfahren zum Betrieb eines Räumlichen Abscheidungswerkzeugs

WO2020092184 Art A1 7. Mai 2020

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020092184
Aktenzeichen: EP19877787
Anmeldetag: 28. Oktober 2019
Veröffentlichung: 7. Mai 2020
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/455C23C16/458C23C16/54H01L21/02H01L21/687H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von