Methods and apparatus for controlling contact resistance in cobalt-titanium structures

WO2020092302 Art A1 7. Mai 2020

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020092302
Aktenzeichen
EP19879355
Anmeldetag
29. Oktober 2019
Veröffentlichung
7. Mai 2020
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/28H01L21/285H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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