Pattern measurement method, measurement system, and computer-readable medium

WO2020095346 Art A1 14. Mai 2020

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020095346
Aktenzeichen: EP18939281
Anmeldetag: 5. November 2018
Veröffentlichung: 14. Mai 2020
Rechtsraum: WO
IPC: G01B15/00H01J37/22H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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