Method for producing metal ruthenium thin film by means of atomic layer deposition method

WO2020095744 Art A1 14. Mai 2020

Anmelder: ADEKA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020095744
Aktenzeichen: EP19882894
Anmeldetag: 28. Oktober 2019
Veröffentlichung: 14. Mai 2020
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/18C23C16/455H01L21/285

Offizieller Volltext

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Anmelder

Firma: ADEKA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ADEKA Corporation

ADEKA Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das Additive für Kunststoffe, Lebensmittelzutaten und Spezialchemikalien herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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