Semiconductor wafer polishing auxiliary sheet and production method therefor

WO2020095883 Art A1 14. Mai 2020

Anmelder: SHIN-ETSU POLYMER CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020095883
Aktenzeichen
EP19881706
Anmeldetag
5. November 2019
Veröffentlichung
14. Mai 2020
Rechtsraum
WO
IPC
B24B37/30H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SHIN-ETSU POLYMER CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Polymer

Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. ist ein japanischer Hersteller von Kunststoff- und Elektronikkomponenten mit Sitz in Tokio, Teil des Shin-Etsu-Chemical-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Verpackungstechnik, ergänzt um Kunststofftechnik und Fertigungstechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.

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