Upper electrode for dry etching apparatus and manufacturing method thereof

WO2020098187 Art A1 22. Mai 2020

Anmelder: SHENZHEN CHINA STAR OPTOELECTRONICS SEMICONDUCTOR 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2020098187
Aktenzeichen: EP19884460
Anmeldetag: 11. März 2019
Veröffentlichung: 22. Mai 2020
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/32H01L21/3065H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SHENZHEN CHINA STAR OPTOELECTRONICS SEMICONDUCTOR
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 China Star Optoelectronics (CSOT)

Chinesischer Displayhersteller mit Sitz in Shenzhen, Tochtergesellschaft des TCL-Konzerns. CSOT entwickelt und produziert LCD- und OLED-Panels für Fernseher, Monitore und mobile Endgeräte.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von