System for estimating the occurrence of defects, and computer-readable medium

WO2020100180 Art A1 22. Mai 2020

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2020100180
Aktenzeichen
EP18940234
Anmeldetag
12. November 2018
Veröffentlichung
22. Mai 2020
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/66G01N23/2251G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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